ٹیفلون لیپت سیرامک اینڈ ایفیکٹر - حساس ویفر ہینڈلنگ کے لیے نان اسٹک سطح
St.Cera's Teflon (PTFE) لیپت سیرامک اینڈ انفیکٹر ایک اعلی طاقت والے ایلومینا سبسٹریٹ کو یکساں، کم رگڑ والی PTFE کوٹنگ (موٹائی 15–30 μm) کے ساتھ جوڑتا ہے۔ کوٹنگ انتہائی کم رگڑ (≤0.1)، بہترین کیمیائی مزاحمت، اور نان اسٹک خصوصیات فراہم کرتی ہے، جو ویفر کے چپکنے کو روکتی ہے اور بیک سائیڈ آلودگی کو ختم کرتی ہے۔ بنیادی سیرامک سبسٹریٹ (99.8% Al₂O₃) اعلی لچکدار طاقت (361–1000 MPa)، لباس مزاحمت، اور 260°C (کوٹنگ کی حد) تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے۔ یہ اختتامی اثر نازک، پتلی، یا چپچپا ویفرز کو سنبھالنے کے لیے مثالی ہے (مثلاً فوٹو ریزسٹ کوٹنگ یا کیمیائی عمل کے بعد)۔
وضاحتیں (PTFE کوٹنگ کے ساتھ 99.8% Al₂O₃ سبسٹریٹ پر مبنی):
| جائیداد | قدر |
| سبسٹریٹ مواد | 99.8% ایلومینا (آئیوری) |
| کوٹنگ کا مواد | PTFE (Teflon) |
| کوٹنگ موٹائی | 15–30 μm |
| رگڑ کا عدد (لیپت) | ≤0.1 |
| سبسٹریٹ لچکدار طاقت (Al₂O₃) | 361 ایم پی اے |
| سبسٹریٹ سختی (Al₂O₃) | 16 جی پی اے |
| سبسٹریٹ کثافت | 3.93 گرام/cm³ |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت (کوٹنگ کی حد) | 260°C |
| سطح کی کھردری (کوٹنگ سے پہلے) | Ra ≤0.4 μm |
| ڈائی الیکٹرک طاقت (سبسٹریٹ) | 15×10⁶ V/m |
نوٹ: PTFE کوٹنگ زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت کو 260 ° C تک محدود کرتی ہے۔ زیادہ درجہ حرارت کی ایپلی کیشنز کے لیے، بغیر کوٹڈ سیرامک یا دیگر کوٹنگز پر غور کریں۔
درخواستیں:
- فوٹو ریزسٹ کوٹنگ کے بعد ویفرز کو سنبھالنا (چپچپا سطحیں)
- پتلی یا نازک ویفرز کی منتقلی (چپکنے سے روکتی ہے)
- · سیمی کنڈکٹر معائنہ اور میٹرولوجی کے اوزار
- · کلین روم آٹومیشن جہاں ذرات کی آلودگی کو کم سے کم کیا جانا چاہیے۔
مینوفیکچرنگ کا عمل:
سیرامک سبسٹریٹ سنٹرڈ اور درست گراؤنڈ → سطح کی کھردری (پلازما اینچ یا گرٹ بلاسٹ) → پی ٹی ایف ای اسپرے کوٹنگ → ہیٹ کیورنگ 380 ° C پر → حتمی معائنہ۔ ہر اینڈ انفیکٹر کو کوٹنگ کی موٹائی (ایڈی کرنٹ)، آسنجن (کراس کٹ ٹیسٹ ASTM D3359)، اور رگڑ کے گتانک کے لیے چیک کیا جاتا ہے۔
کوالٹی کنٹرول:
پن ہولز یا بلبلوں کے لیے 100% بصری معائنہ؛ کوٹنگ کی موٹائی کی یکسانیت ±5 μm کے اندر؛ گواہ کوپن پر 90° موڑ ٹیسٹ کے بعد کوئی ڈیلامینیشن نہیں۔ OEM رواداری کی جہتی جانچ (لمبائی ±0.05 ملی میٹر، چپٹا پن ≤0.1 ملی میٹر)۔
انکوٹیڈ یا دیگر ملمعوں کے فوائد:
- · نان اسٹک سطح ویفر کو چپکنے اور ٹوٹنے سے روکتی ہے۔
- · سیرامک کوٹنگز کے درمیان رگڑ کا سب سے کم گتانک
- · بہترین کیمیائی مزاحمت (تیزاب، اڈے، سالوینٹس)
- مواد کی منتقلی کو روک کر ذرہ کی پیداوار کو کم کرتا ہے۔
حدود (مادی انحراف پر ریمارکس):
پی ٹی ایف ای کوٹنگ فراہم کردہ مادی پراپرٹی ٹیبلز (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) سے اخذ نہیں کی گئی ہے۔ سبسٹریٹ کی خصوصیات فراہم کردہ ڈیٹا شیٹ (99.8% Al₂O₃) کی سختی سے پیروی کرتی ہیں۔ کوٹنگ کی خصوصیات صنعت کے معیاری PTFE وضاحتوں پر مبنی ہیں، کیونکہ کوٹنگ ڈیٹا فراہم نہیں کیا گیا تھا۔ 260 ° C سے زیادہ ایپلی کیشنز کے لیے، بغیر کوٹڈ سیرامک اینڈ انفیکٹر کی سفارش کی جاتی ہے۔*
حسب ضرورت:
لمبائی 150–1500 ملی میٹر، ٹپ کی شکلیں (کنارے کی گرفت، برنولی، فلیٹ)، فی OEM ڈرائنگ میں بڑھتے ہوئے فلینج پیٹرن میں دستیاب ہے۔ جزوی کوٹنگ (صرف رابطے کے علاقے) یا مکمل کوریج اختیاری۔
آسنجن اور رگڑ کی جانچ کے لیے نمونے کی درخواست کریں۔
