سیمی کنڈکٹر پروسیس فکسچر کے لیے سرامک سپورٹنگ پن
سینٹ سیرا کے سیرامک سپورٹنگ پن (جسے لفٹ پن یا سپورٹ پن بھی کہا جاتا ہے) سیمی کنڈکٹر پراسیس چیمبر میں ہینڈلنگ، ہیٹنگ یا ٹھنڈک کے دوران ویفرز یا سبسٹریٹس کو بلند کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ 99.8% ایلومینا یا سلکان نائٹرائڈ سے تیار کردہ، یہ پن اعلی کمپریشن طاقت، تھرمل استحکام، اور کیمیائی مزاحمت پیش کرتے ہیں۔ نصف کرہ یا چپٹی نوک کا ڈیزائن ویفر کو کھرچنے سے روکتا ہے۔
وضاحتیں(ایلومینا 99.8%):
| جائیداد | قدر |
| مواد | 99.8% Al₂O₃ یا Si₃N₄ |
| لمبائی | 10 - 100 ملی میٹر |
| قطر | 1 - 10 ملی میٹر |
| ٹپ کی شکل | چپٹا، نصف کرہ، نوکدار |
| دبانے والی طاقت (Al₂O₃) | >2000 ایم پی اے |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت (Al₂O₃) | 1600°C |
| سطح ختم | لیپڈ (Ra ≤0.4 μm) |
| قطر پر رواداری | ±0.01 ملی میٹر |
درخواستیں:
CVD/PVD چیمبرز میں پن اٹھائیں
ہاٹ پلیٹ بیکنگ کے لیے سپورٹ پن
پروب کارڈ سپورٹ ڈھانچے
کوارٹج فرنس کشتی کی حمایت کرتا ہے
مینوفیکچرنگ:
OD کی صحت سے متعلق مرکز کے بغیر پیسنا → ٹپ پروفائل کی ہیرے کی پیسنا → الٹراسونک صفائی → 100٪ جہتی معائنہ۔
کوالٹی کنٹرول:
لمبائی/قطر کے لیے CMM، ٹپ کے رداس کے لیے آپٹیکل کمپیریٹر، کمپریسیو طاقت کی تصدیق کے لیے لوڈ ٹیسٹنگ (فی لاٹ بے ترتیب نمونہ)۔ کوئی فیرو میگنیٹک آلودگی نہیں (مقناطیس سے تصدیق شدہ)۔
دھاتی یا کوارٹج پنوں پر فوائد:
سٹینلیس سٹیل سے 5x لمبی زندگی
عمل کے چیمبر میں دھات کی آلودگی نہیں ہے۔
کوارٹج سے زیادہ درجہ حرارت کی صلاحیت (1600 ° C بمقابلہ 1100 ° C)
نان اسٹک سطح (کم ذرہ آسنجن)
حسب ضرورت:
متعدد ٹپ پروفائلز، تھریڈڈ بیس، یا ٹیپرڈ شافٹ۔
ہم انتہائی پلازما ماحول کے لیے SiC پن بھی فراہم کرتے ہیں۔
