وارپڈ اور پتلی ویفر ہینڈلنگ کے لیے میٹل بیکڈ غیر محفوظ SiC ویکیوم چک

سینٹ سیرا کی دھات پر مبنی سیرامک ​​ویکیوم چک ایک غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ (SiC) سیرامک ​​کی تہہ کو ایک درست مشینی دھات کی بنیاد (ایلومینیم یا سٹینلیس سٹیل) کے ساتھ جوڑتا ہے۔ غیر محفوظ SiC مواد (نیلا سیاہ، پوروسیٹی 35–40%، تاکنا سائز 20–30 μm، پارگمیتا 60 ml/cm²·min) پوری ویفر سطح پر یکساں، نرم ویکیوم تقسیم فراہم کرتا ہے، کنارے کے نشانات کو ختم کرتا ہے اور μ0m1 کے لیے نان کنٹیکٹ سپورٹ کو فعال کرتا ہے۔ ویفرز SiC پرت کم تھرمل توسیع (3.5×10⁻⁶/℃)، 1000°C تک تھرمل استحکام، اور معتدل لچکدار طاقت (32–35 MPa) پیش کرتی ہے۔ دھات کی بنیاد ساختی سختی، تھریڈڈ ہولز کے ذریعے آسانی سے چڑھائی، اور ٹوٹنے والے فریکچر سے تحفظ کا اضافہ کرتی ہے۔ یہ چک بیک سائیڈ گرائنڈنگ، ڈائسنگ، اور ہائی ٹمپریچر ویفر پروسیسنگ کے لیے مثالی ہے جہاں یکساں ویکیوم اور تھرمل مطابقت بہت ضروری ہے۔

تفصیلات (فراہم کردہ غیر محفوظ SiC ڈیٹا کی بنیاد پر):

نوٹ: پوروسیٹی کی وجہ سے لچکدار طاقت گھنے SiC سے کم ہے۔ دھات کی بنیاد کی خصوصیات سیرامک ​​میزوں سے نہیں ہیں.

درخواستیں:

• · پتلی ویفرز کی بیک سائیڈ پیسنا (≤100 μm)
• ڈائسنگ کے لیے وارپڈ ویفر لگانا
• · اعلی درجہ حرارت ویفر چکنگ (1000 ° C تک)
• غیر محفوظ یا نازک سبسٹریٹس کے لیے ویکیوم فکسچرنگ

مینوفیکچرنگ:

غیر محفوظ SiC پلیٹ (پورے فارمرز کے ساتھ بنی ہوئی، سنٹرڈ) → چپٹا ≤10 μm → ویکیوم پورٹس اور بڑھتے ہوئے فیچرز کے ساتھ مشینی دھات کی بنیاد → ایپوکسی بانڈنگ یا مکینیکل کلیمپنگ → ہیلیم لیک ٹیسٹ۔

کوالٹی کنٹرول:

• SEM کی طرف سے تصدیق شدہ پوروسیٹی اور تاکنا سائز
• پارگمیتا ٹیسٹ (ہوا کا بہاؤ)
• · لیزر انٹرفیرومیٹر سے ناپا جاتا چپٹا
• · ہیلیم لیک کی شرح <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

نالیوں یا گھنے سیرامک ​​چکوں کے فوائد:

• · کوئی ویفر مارکنگ نہیں - بغیر کسی مجرد سوراخ کے یکساں ویکیوم
• · خود کو صاف کرنے والے سوراخ - بند ہونے میں کمی
• · وارپڈ ویفرز کو ہینڈل کرتا ہے (500 μm کمان تک)
• میٹل بیس ٹوٹنے والے فریکچر کو روکتا ہے اور انضمام کو آسان بناتا ہے۔

حدود:

• · کم لچکدار طاقت (32–35 MPa) – اثر لوڈ ہونے سے بچیں۔
• · آپریٹنگ درجہ حرارت 1000°C (غیرمحفوظ SiC) تک محدود ہے، لیکن میٹل بیس ایپوکسی بانڈ ≤200°C تک محدود ہے جب تک کہ میکانکی طور پر بند نہ کیا جائے۔
• · ہائی پریشر ویکیوم کے لیے نہیں (غیر محفوظ ڈھانچہ زیادہ سے زیادہ ویکیوم فرق کو محدود کرتا ہے)

حسب ضرورت:

• دھات کی بنیاد: ایلومینیم (روشنی)، سٹینلیس سٹیل (سنکنرن مزاحم)، انوار (کم توسیع)
• بانڈنگ: epoxy (≤200°C) یا مکینیکل کلیمپ (500°C تک)
• زون ویکیوم کنٹرول کے لیے کنارے سگ ماہی کی انگوٹی

براہ کرم نوٹ کریں: فراہم کی گئی لچکدار طاقت (32–35 MPa) porosity کی وجہ سے گھنے سیرامکس سے نمایاں طور پر کم ہے۔ کنارے کی چٹائی سے بچنے کے لیے احتیاط سے ہینڈل کریں۔