سی وی ڈی / پی وی ڈی پروسیس چیمبرز مینوفیکچررز اور سپلائرز کے لیے کسٹم ہائی پیوریٹی ایلومینا سیرامک رنگ

CVD/PVD پروسیس چیمبرز کے لیے ہائی پیوریٹی ایلومینا سیرامک رنگ

مختصر تفصیل:

سینٹ سیرا کی سیرامک رنگ خاص طور پر CVD (کیمیائی بخارات جمع کرنے) اور PVD (جسمانی بخارات جمع کرنے) کے عمل کے چیمبروں میں استعمال کے لیے ڈیزائن کی گئی ہے۔ 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے تیار کردہ، یہ انگوٹھی پلازما کو محدود کرنے اور چیمبر کی دیواروں کو کٹاؤ سے بچانے کے لیے چیمبر لائنر، فوکس رِنگ، یا پروسیس کٹ کے جزو کے طور پر کام کرتی ہے۔ یہ مواد بہترین پلازما مزاحمت، ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت (15×10⁶ V/m)، اور 1600°C تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے، جو فلورین پر مبنی پلازما کے جارحانہ ماحول میں طویل سروس کی زندگی کو یقینی بناتا ہے۔ درست جہتی رواداری (±0.05 ملی میٹر ID/OD پر) اور چپٹا پن (≤10 μm) مسلسل ویفر ایج پوزیشننگ کو قابل بناتا ہے، جمع ہونے کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے اور ذرات کی پیداوار کو کم کرتا ہے۔

ہمیں ای میل بھیجیں۔

پروڈکٹ کی تفصیل

پروڈکٹ ٹیگز

تفصیلات (99.8% Al₂O₃ پر مبنی):

جائیداد	قدر
مواد	99.8% ایلومینا (آئیوری)
کثافت	3.93 گرام/cm³
پانی جذب	0%
لچکدار طاقت	361 ایم پی اے
فریکچر سختی	3–4 MPa·m¹/²
Vickers سختی	16 جی پی اے
ینگ کا ماڈیولس	380 جی پی اے
تھرمل چالکتا	32 W/m·k
حرارتی توسیع (25–1000 ° C)	7.2×10⁻⁶/℃
ڈائی الیکٹرک طاقت	15×10⁶ V/m
مخصوص مزاحمت	>10¹⁴ Ω· سینٹی میٹر
زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت	1600°C

درخواستیں:

CVD چیمبر فوکس رِنگز اور ایج رِنگز
· پی وی ڈی چیمبر شیلڈ کی انگوٹھیاں اور کلیمپ کی انگوٹھیاں
چیمبر لائنرز اور کور کی انگوٹھیوں کو اینچ کریں۔
· ڈائی الیکٹرک اینچ سسٹم میں پلازما کی قید بجتی ہے۔

مینوفیکچرنگ کا عمل:

Isostatic پریسنگ → گرین مشیننگ → 1600 ° C پر سائنٹرنگ → CNC ID/OD پیسنے → سطح کی لیپنگ → الٹراسونک صفائی → 100% CMM معائنہ۔ انتہائی ہموار سطح کی تکمیل (Ra ≤0.4 μm) ذرات کے آسنجن کو کم کرتی ہے۔

کوالٹی کنٹرول:

100% جہتی چیک (ID، OD، موٹائی، چپٹا)
· سطح کے مائیکرو کریکس کے لیے ڈائی پینیٹرینٹ معائنہ
· ڈائی الیکٹرک طاقت ٹیسٹ فی ASTM D149
· 20× خوردبین کے نیچے کوئی نظر آنے والی رنگت یا سوراخ نہیں ہے۔

دھاتی یا کوارٹج حلقوں پر فوائد:

فلورین پلازما میں ایلومینیم کے حلقوں سے 5–10× لمبی زندگی
· پتلی فلموں میں دھات کی آلودگی نہیں ہے۔
· کوارٹج سے زیادہ پلازما مزاحمت (کوئی کٹاؤ کے گڑھے نہیں)
طویل مدتی استعمال کے بعد بھی برقی موصلیت کو برقرار رکھتا ہے >10¹⁴ Ω·cm

متبادل مواد - سلکان نائٹرائڈ (Si₃N₄):

ایسی ایپلی کیشنز کے لیے جن میں فریکچر سختی (6.2 MPa·m¹/²) اور بہتر تھرمل جھٹکا مزاحمت (توسیع گتانک 3.2×10⁻⁶/℃) کی ضرورت ہوتی ہے، Si₃N₄ رنگ دستیاب ہیں۔ تاہم، ایلومینا زیادہ تر CVD/PVD ایپلی کیشنز کے لیے زیادہ سرمایہ کاری مؤثر ہے۔ آرڈر کرتے وقت براہ کرم مواد کی ترجیحات کی وضاحت کریں۔

حسب ضرورت: