300mm ویفر پروسیسنگ کے لیے 12 انچ ایلومینا ویکیوم چک
سینٹ سیرا کا 12 انچ ویکیوم چک 300 ملی میٹر ویفر ہینڈلنگ کے لیے 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے درست طریقے سے تیار کیا گیا ہے۔ پورے 300 ملی میٹر قطر میں ویکیوم کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانے کے لیے چک میں ایک باریک نالی والی سطح (نالی کی چوڑائی 0.5–1.0 ملی میٹر، پچ 2–3 ملی میٹر) ہے۔ چپٹا پن 5 μm کے اندر برقرار رکھا جاتا ہے، ڈائسنگ، بیک سائیڈ گرائنڈنگ، اور معائنہ کے دوران وارپ فری ویفر فکسشن کو قابل بناتا ہے۔ مواد کی اعلی لچکدار طاقت (361 MPa) اور سختی (16 GPa) بار بار ویکیوم سائیکلوں کے تحت بھی طویل مدتی جہتی استحکام کی ضمانت دیتی ہے۔
وضاحتیں (99.8% Al₂O₃ پر مبنی):
| جائیداد | قدر |
| قطر | 300 ملی میٹر (12 انچ) |
| مواد | 99.8% ایلومینا (آئیوری) |
| کثافت | 3.93 گرام/cm³ |
| لچکدار طاقت | 361 ایم پی اے |
| Vickers سختی | 16 جی پی اے |
| ہمواری (300 ملی میٹر سے زیادہ) | ≤5 μm |
| نالی کی چوڑائی | 0.5–1.0 ملی میٹر |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت | 800°C |
| ڈائی الیکٹرک طاقت | 15×10⁶ V/m |
درخواستیں:
300mm ویفر ڈائسنگ اور سکرائبنگ
ویفر بیک سائیڈ گرائنڈنگ (پتلی ویفر سپورٹ)
آپٹیکل معائنہ اور تحقیقات
عارضی بانڈنگ/ڈی بانڈنگ چک
مینوفیکچرنگ:
CNC گراؤنڈ اور آخری ہمواری پر لیپ کیا گیا، ہیرے کے پہیوں سے گھیرا ہوا، الٹراسونک طور پر صاف کیا گیا، اور کلاس 100 کلین روم میں پیک کیا گیا۔ ہر چک کا فلیٹنس (لیزر انٹرفیرومیٹر) اور نالی کی گہرائی (پروفائلومیٹر) کے لیے 100% معائنہ کیا جاتا ہے۔
فوائد:
کم ذرہ جنریشن (≤0.05 ذرات/cm²)
سالوینٹس اور تیزاب کے لیے کیمیائی طور پر غیر فعال
ESD-محفوظ سطح (مزاحمتی>10¹³ Ω·cm)
حسب ضرورت ویکیوم ہول پیٹرن اور بیک سائیڈ پورٹس دستیاب ہیں۔
