برنولی سیرامک ​​اینڈ ایفیکٹر - پتلی اور نازک ویفرز کے لیے غیر رابطہ ویفر ہینڈلنگ

سینٹ سیرا کا برنولی سیرامک ​​اینڈ انفیکٹر جسمانی رابطے کے بغیر ویفرز کو سنبھالنے کے لیے ایروڈینامک لفٹ کا استعمال کرتا ہے۔ اعلی طہارت 99.8% ایلومینا (Al₂O₃) یا سلکان کاربائیڈ (SiC) سے تیار کردہ، اس میں درست مشینی نوزلز ہیں جو اینڈ انفیکٹر اور ویفر کے درمیان ایک پتلی ہوا کی فلم بنانے کے لیے دباؤ والی گیس کو نکالتے ہیں۔ یہ غیر رابطہ اصول پچھلی طرف کی آلودگی، کنارے کی چٹائی اور سطح کو پہنچنے والے نقصان کو ختم کرتا ہے، جو اسے پتلی (≤100 μm)، نازک یا خراب ویفرز کے لیے مثالی بناتا ہے۔ سیرامک ​​سبسٹریٹ اعلی لچکدار طاقت فراہم کرتا ہے (Al₂O₃ کے لیے 361 MPa؛ SiC کے لیے 550–600 MPa تک)، کم ماس، اور بہترین جہتی استحکام، تیز رفتار ویفر ٹرانسفر روبوٹ میں دوبارہ قابل پوزیشننگ کو یقینی بناتا ہے۔

مواد پر نوٹ:ایلومینا (Al₂O₃) سختی، برقی موصلیت، کیمیائی استحکام، اور لاگت کی تاثیر کے بہترین امتزاج کی وجہ سے سیمیکمڈکٹر ویفر ہینڈلنگ میں سیرامک ​​اینڈ ایفیکٹرز کے لیے سب سے زیادہ استعمال ہونے والا مواد ہے۔ سلکان کاربائیڈ (SiC) اعلی تھرمل چالکتا، زیادہ سختی، اور سب سے زیادہ مطالبہ کرنے والی ایپلی کیشنز کے لیے پہننے کی بہتر مزاحمت پیش کرتا ہے۔ جبکہ yttria-stabilized zirconia (ZrO₂) کمرے کے درجہ حرارت پر زیادہ فریکچر سختی پیش کرتا ہے، لیکن اس کی زیادہ کثافت اور مختلف تھرمل توسیع کی خصوصیات کی وجہ سے اس ایپلی کیشن میں اسے عام طور پر کم استعمال کیا جاتا ہے۔ اسے مخصوص حالات کے لیے سمجھا جا سکتا ہے جہاں غیر معمولی فریکچر سختی کی ضرورت ہوتی ہے۔ مواد کے انتخاب کی رہنمائی کے لیے براہ کرم ہماری تکنیکی ٹیم سے رجوع کریں۔

وضاحتیں(99.8% Al کی بنیاد پر₂O₃):

آپریٹنگ اصول:

کمپریسڈ ہوا یا نائٹروجن (0.2–0.6 MPa) اندرونی چینلز کے ذریعے فراہم کی جاتی ہے اور درست نوزلز کے ذریعے باہر نکلتی ہے۔ تیز ہوا کا بہاؤ اختتامی اثر (برنولی اثر) کے اوپر ایک کم دباؤ والا زون بناتا ہے، لفٹنگ فورس پیدا کرتا ہے جو 50-200 μm کے وقفے پر ویفر کو سپورٹ کرتا ہے۔ ویکیوم سوراخ یا پیڈ ویفر کے پچھلے حصے سے رابطہ نہیں کرتے ہیں۔

درخواستیں:

• · پچھلی طرف پیسنے کے بعد پتلا ویفر (≤50 μm) ہینڈلنگ
• · وارپڈ ویفر ٹرانسپورٹ (مثال کے طور پر، CVD یا اینیلنگ کے بعد)
• سولر سیل اور ایل ای ڈی سیفائر سبسٹریٹ ٹرانسفر
• · کلین روم آٹومیشن جس میں صفر ذرہ پیدا کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔
• · ڈسپلے مینوفیکچرنگ میں گلاس پینل ہینڈلنگ

مینوفیکچرنگ کا عمل:

ہائی پیوریٹی پاؤڈر → 5-axis CNC مشینی گیس چینلز اور نوزل ​​ہولز (قطر 0.3–1.0 ملی میٹر، رواداری ±0.01 ملی میٹر) سے سیرامک ​​سبسٹریٹ → Ra ≤0.4 μm → الٹراسونک کلیننگ → ہیلیئم چینلز کی سطح لیپنگ)۔ کوٹنگ کی ضرورت نہیں - ننگی سیرامک ​​سطح کیمیائی طور پر غیر فعال اور غیر آلودہ ہے۔

کوالٹی کنٹرول:

• نوزل پوزیشنز، بازو کی لمبائی، اور چپٹا پن کا 100% جہتی معائنہ (سی ایم ایم)
• ہوا کے بہاؤ کی یکسانیت کا ٹیسٹ: تمام نوزلز میں پریشر کی کمی ≤5%
• · لیک ٹیسٹ: گیس چینلز 0.6 MPa پر سیل کیے گئے، 30 سیکنڈ سے زیادہ پریشر میں کمی نہیں
• · مائیکرو کریکس یا burrs کے لیے 20× خوردبین کے تحت بصری معائنہ

Aروایتی رابطے کے اختتامی اثرات پر فائدے:

• · زیرو ویفر بیک سائڈ آلودگی - کوئی مکینیکل رابطہ نہیں۔
• · پتلی ویفرز کی کوئی کنارہ چِپنگ یا ٹوٹنا نہیں۔
• · مستحکم خلا کے ساتھ وارپڈ ویفرز (1 ملی میٹر تک) کو ہینڈل کرتا ہے۔
• ویکیوم جنریٹر اور غیر محفوظ چک کی دیکھ بھال کو ختم کرتا ہے۔
• · سیرامک ​​کی تعمیر لباس اور کیمیائی حملے کے خلاف مزاحمت کرتی ہے۔

حسب ضرورت:

• 200 ملی میٹر، 300 ملی میٹر، یا حسب ضرورت ویفر سائز کے لیے دستیاب ہے۔
• · گیس نوزل ​​کے پیٹرن: سیدھے، زاویہ، یا بنور کی اقسام
• · مواد: ایلومینا (معیاری) یا سلکان کاربائیڈ (سب سے زیادہ تھرمل چالکتا اور لباس مزاحمت کے لیے)
• بازو کی لمبائی، بڑھتے ہوئے فلینج، اور گیس پورٹ لوکیشن فی OEM ڈرائنگ

حدود:

برنولی اصول پر عمل درآمد (نوزل ڈیزائن، ایئر گیپ) فراہم کردہ میٹریل پراپرٹی ٹیبل کے دائرہ کار سے باہر ہے۔ اوپر دی گئی مکینیکل اور تھرمل خصوصیات 99.8% Al₂O₃ کے لیے فراہم کردہ ڈیٹا شیٹس کی سختی سے پیروی کرتی ہیں۔ ان مادی خصوصیات کی بنیاد پر دباؤ والے گیس کے بہاؤ کے تحت سیرامک ​​کی کارکردگی میں کوئی کمی متوقع نہیں ہے۔ گیس کے بہاؤ کے لیے حساس ویفرز کے لیے (مثال کے طور پر، نازک ڈھانچے کے ساتھ MEMS)، گیس کے دباؤ اور نوزل ​​کے ڈیزائن کو اسی کے مطابق ایڈجسٹ کیا جانا چاہیے۔