پلازما Etch اور CVD سسٹمز کے لیے ہائی پیوریٹی ایلومینا چیمبر فوکس رنگ
سینٹ سیرا کے چیمبر فوکس رِنگ ایک اہم عمل کٹ کا جزو ہے جو پلازما ایچ، سی وی ڈی، اور پی وی ڈی سیمی کنڈکٹر آلات میں استعمال ہوتا ہے۔ 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے تیار کردہ، انگوٹھی پلازما کو محدود کرنے اور آئن کونیی تقسیم کو بہتر بنانے کے لیے ویفر کے کنارے کو گھیر لیتی ہے، اس طرح ویفر کی سطح پر اینچ کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔ یہ مواد غیر معمولی پلازما مزاحمت، ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت (15×10⁶ V/m)، اور 1600°C تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے، جارحانہ فلورین- یا کلورین پر مبنی پلازما ماحول میں طویل مدتی اعتبار کو یقینی بناتا ہے۔ درستگی-گراؤنڈ ID/OD اور چپٹا پن (≤10 μm) درست ویفر ایج پوزیشننگ کو قابل بناتا ہے، کنارے کے نقائص کو کم کرتا ہے اور ذرہ پیدا کرتا ہے۔
وضاحتیں(99.8% Al کی بنیاد پر₂O₃):
| جائیداد | قدر |
| مواد | 99.8% ایلومینا (آئیوری) |
| کثافت | 3.93 گرام/cm³ |
| پانی جذب | 0% |
| لچکدار طاقت | 361 ایم پی اے |
| فریکچر سختی | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers سختی | 16 جی پی اے |
| ینگ کا ماڈیولس | 380 جی پی اے |
| تھرمل چالکتا | 32 W/m·k |
| حرارتی توسیع (25–1000 ° C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ڈائی الیکٹرک طاقت | 15×10⁶ V/m |
| مخصوص مزاحمت | >10¹⁴ Ω· سینٹی میٹر |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت | 1600°C |
درخواستیں:
- · ڈائی الیکٹرک اینچ چیمبر فوکس رِنگز (آکسائیڈ، نائٹرائڈ ایچ)
- · سلیکون اینچ چیمبر کے کنارے کے حلقے
- · CVD چیمبر پروسیس کٹ بجتی ہے۔
- · پی وی ڈی چیمبر شیلڈ اور کلیمپ کی انگوٹھیاں
مینوفیکچرنگ کا عمل:
ہائی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر کو الگ تھلگ دبایا جاتا ہے → سبز مشین کو قریب کی خالص شکل میں → 1600 ° C پر sintered → ID، OD، اور موٹائی کی CNC ڈائمنڈ پیسنا → چپٹا پن حاصل کرنے کے لیے لیپنگ ≤10 μm → الٹراسونک صفائی → 100% CMM معائنہ سطح کی تکمیل Ra ≤0.4 μm ذرہ آسنجن کو کم کرتا ہے۔
کوالٹی کنٹرول:
- 100% جہتی معائنہ (ID، OD، موٹائی، متوازی)
- · مائیکرو کریکس کے لیے ڈائی پینیٹرینٹ ٹیسٹ (کسی دراڑ کی اجازت نہیں)
- · 20× خوردبین کے تحت بصری معائنہ - کوئی چپس، voids، یا رنگت نہیں
- · ڈائی الیکٹرک طاقت ٹیسٹ فی ASTM D149 (سیمپلنگ)
سلیکون یا کوارٹج فوکس رِنگز کے فوائد:
- فلورو کاربن پلازما میں 5–10× طویل زندگی
- · ویفرز کو آلودہ کرنے کے لیے قابل استعمال کٹاؤ کے ذرات نہیں۔
- · زیادہ ڈائی الیکٹرک طاقت آرکنگ کو روکتی ہے۔
- · ہزاروں RF گھنٹوں میں ہمواری اور جہتی درستگی کو برقرار رکھتا ہے۔
متبادل مواد — Yttria-Stabilized Zirconia (ZrO₂):
ایسی ایپلی کیشنز کے لیے جن میں فریکچر سختی کی ضرورت ہوتی ہے (مثلاً، بار بار تھرمل سائیکلنگ یا مکینیکل جھٹکا والے چیمبر)، ZrO₂ فوکس رِنگز (کثافت 6.03 g/cm³، لچکدار طاقت 1000 MPa، فریکچر سختی 5–8 MPa·m¹/²) دستیاب ہیں۔ تاہم، ایلومینا بہتر لاگت کی تاثیر پیش کرتا ہے اور زیادہ تر فوکس رِنگ ایپلی کیشنز کے لیے انڈسٹری کا معیار ہے۔
حسب ضرورت:
- سٹیپ پروفائلز، کاؤنٹر بورز، یا بڑھتے ہوئے سوراخ فی کسٹمر ڈرائنگ
- پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کے لیے Y₂O₃ کوٹنگ (موٹائی 20–100 μm)
- حصہ نمبر، تاریخ کوڈ، یا سیدھ کے نشانات کی لیزر مارکنگ
نوٹ:تمام ڈیٹا فراہم کردہ Al₂O₃ پراپرٹی ٹیبل کی سختی سے پیروی کرتا ہے۔ ZrO₂ تفصیلات کے لیے، فراہم کردہ زرکونیا ڈیٹا شیٹ سے رجوع کریں۔ فوکس رِنگ ڈیزائنز کے لیے پیٹنٹ کلیئرنس کی ضرورت ہو سکتی ہے — گاہک املاک دانش کے حقوق کی تصدیق کے ذمہ دار ہیں۔
