-
ویفر ہینڈلنگ کے لیے ہائی پیوریٹی ایلومینا سیرامک روبوٹ آرم
سینٹ سیرا کا ایلومینا سیرامک روبوٹ بازو 99.8% ہائی پیوریٹی Al₂O₃ (ایلومینا) سے عین مطابق انجنیئر ہے۔ یہ غیر معمولی لچکدار طاقت (361 MPa)، زیادہ سختی (16 GPa)، اور کم کثافت (3.93 g/cm³) کو یکجا کرتا ہے، جس کے نتیجے میں سیمی کنڈکٹر ویفر کی منتقلی کے لیے ہلکا پھلکا لیکن سخت بازو ہوتا ہے۔ مواد کا تھرمل ایکسپینشن گتانک (7.2×10⁻⁶/°C) سلیکون سے بہت قریب سے ملتا ہے، پروسیسنگ کے دوران تھرمل عدم مماثلت کو کم کرتا ہے۔
-
برنولی سیرامک اینڈ ایفیکٹر - پتلی اور نازک ویفرز کے لیے غیر رابطہ ویفر ہینڈلنگ
سینٹ سیرا کا برنولی سیرامک اینڈ انفیکٹر جسمانی رابطے کے بغیر ویفرز کو سنبھالنے کے لیے ایروڈینامک لفٹ کا استعمال کرتا ہے۔ اعلی طہارت 99.8% ایلومینا (Al₂O₃) یا سلکان کاربائیڈ (SiC) سے تیار کردہ، اس میں درست مشینی نوزلز ہیں جو اینڈ انفیکٹر اور ویفر کے درمیان ایک پتلی ہوا کی فلم بنانے کے لیے دباؤ والی گیس کو نکالتے ہیں۔ یہ غیر رابطہ اصول پچھلی طرف کی آلودگی، کنارے کی چٹائی اور سطح کو پہنچنے والے نقصان کو ختم کرتا ہے، جو اسے پتلی (≤100 μm)، نازک یا خراب ویفرز کے لیے مثالی بناتا ہے۔ سیرامک سبسٹریٹ اعلی لچکدار طاقت فراہم کرتا ہے (Al₂O₃ کے لیے 361 MPa؛ SiC کے لیے 550–600 MPa تک)، کم ماس، اور بہترین جہتی استحکام، تیز رفتار ویفر ٹرانسفر روبوٹ میں دوبارہ قابل پوزیشننگ کو یقینی بناتا ہے۔
-
ٹیفلون لیپت سیرامک اینڈ ایفیکٹر - حساس ویفر ہینڈلنگ کے لیے نان اسٹک سطح
St.Cera's Teflon (PTFE) لیپت سیرامک اینڈ انفیکٹر ایک اعلی طاقت والے ایلومینا سبسٹریٹ کو یکساں، کم رگڑ والی PTFE کوٹنگ (موٹائی 15–30 μm) کے ساتھ جوڑتا ہے۔ کوٹنگ انتہائی کم رگڑ (≤0.1)، بہترین کیمیائی مزاحمت، اور نان اسٹک خصوصیات فراہم کرتی ہے، جو ویفر کے چپکنے کو روکتی ہے اور بیک سائیڈ آلودگی کو ختم کرتی ہے۔ بنیادی سیرامک سبسٹریٹ (99.8% Al₂O₃) اعلی لچکدار طاقت (361–1000 MPa)، لباس مزاحمت، اور 260°C (کوٹنگ کی حد) تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے۔ یہ اختتامی اثر نازک، پتلی، یا چپچپا ویفرز کو سنبھالنے کے لیے مثالی ہے (مثلاً فوٹو ریزسٹ کوٹنگ یا کیمیائی عمل کے بعد)۔
