اعلی درجہ حرارت اور پلازما کے ماحول کے لیے سلکان کاربائیڈ (SiC) پر مبنی ویکیوم چک
St.Cera's SiC پر مبنی سیرامک چک اعلی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (بیچ S1111، SiC 99.72%، مفت Si 0.05%) سے تیار کیا گیا ہے۔ یہ 449 MPa کی لچکدار طاقت، 3.12 MPa·m¹/² کی فریکچر سختی، اور 457 GPa کا لچکدار ماڈیولس فراہم کرتا ہے۔ مواد کی مخصوص تھرمل چالکتا (120–150 W/m·K) اور کم تھرمل توسیع (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) تھرمل سائیکلنگ کے دوران تیز رفتار درجہ حرارت کو بڑھانے اور کم سے کم ویفر وار پیج کو قابل بناتی ہے۔ چک کو غیر محفوظ ویکیوم چک (یکساں گیس کا بہاؤ) یا نالی والے معیاری چک کے طور پر ترتیب دیا جا سکتا ہے۔ زیادہ سے زیادہ استعمال کا درجہ حرارت 1600–1700 ° C (کوئی بوجھ نہیں) اور غیر معمولی پلازما کٹاؤ مزاحمت کے ساتھ، یہ چک اعلی درجہ حرارت کے ویفر پروسیسنگ (اینیلنگ، RTP) اور جارحانہ اینچ چیمبرز کے لیے مثالی ہے جہاں ایلومینا چکس کی کمی ہوتی ہے۔
وضاحتیں(سپلائی شدہ SiC S1111 ٹیسٹ رپورٹ اور عام اقدار پر مبنی):
| جائیداد | قدر |
| مواد | SiC (99.72% SiC، 0.05% مفت Si) |
| کثافت | 3.10–3.15 گرام/cm³ |
| پانی جذب | 0% |
| لچکدار طاقت | 449 ایم پی اے |
| فریکچر سختی | 3.12 MPa·m¹/² |
| لچکدار ماڈیولس | 457 جی پی اے |
| Vickers سختی | 25–28 GPa |
| تھرمل چالکتا | 120-150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| زیادہ سے زیادہ استعمال کا درجہ (کوئی بوجھ نہیں) | 1600–1700 °C |
| ہمواری (300 ملی میٹر سے زیادہ) | ≤5 μm |
| سطح ختم | Ra ≤0.4 μm (لیپڈ) |
درخواستیں:
● ہائی ٹمپریچر چکنگ (اینیلنگ، آر ٹی پی، اپیٹیکسیل گروتھ)
● اعلی فلورین مزاحمت کے ساتھ پلازما اینچ چک
● یکساں ہیٹنگ/کولنگ کے ساتھ باریک ویفر ہینڈلنگ
● غیر رابطہ ویفر سپورٹ کے لیے غیر محفوظ چک
مینوفیکچرنگ:
SiC sintering → چپٹا پن اور سطح کی پروفائل کی درستگی پیسنا → اختیاری غیر محفوظ ساخت کی تشکیل (ویکیوم چک کے لئے) → لیپنگ → الٹراسونک صفائی۔ ہر چک کا 100% فلیٹنس (لیزر انٹرفیرومیٹر) اور ویکیوم یکسانیت (بہاؤ ٹیسٹ) کے لیے معائنہ کیا جاتا ہے۔
کوالٹی کنٹرول:
● CMM جہتی چیک (قطر، موٹائی، سوراخ کی پوزیشن)
● ہمواری کی پیمائش فی ASTM
● ہیلیم لیک ٹیسٹ (ویکیوم چک کے لیے)
● لچکدار طاقت کی تصدیق فی بیچ (ریفری ٹیسٹ رپورٹ)
ایلومینا چک کے فوائد:
● اعلی تھرمل چالکتا (120–150 بمقابلہ 32 W/m·K ایلومینا کے لیے) – 4× تیز حرارت کی منتقلی
● لوئر CTE (4.0 بمقابلہ 7.2×10⁻⁶/℃) – ویفر تھرمل تناؤ کو کم کرتا ہے
● اعلی پلازما مزاحمت - فلورین اینچ میں 10× طویل زندگی
● زیادہ سے زیادہ استعمال کا درجہ حرارت (1600°C بمقابلہ 800°C ایلومینا کے لیے)
حسب ضرورت:
● غیر محفوظ یا نالی والی سطح
● قطر 100–450 ملی میٹر، گول یا مربع
● کنارے سیلنگ رنگ یا زون ویکیوم پارٹیشنز
● ہائی rigidity بڑھتے ہوئے کے لیے دھاتی پشت پناہی کا اختیار
مندرجہ بالا تمام مکینیکل ڈیٹا فراہم کردہ ٹیسٹ رپورٹ (بیچ S1111) سے آتا ہے۔ تھرمل اور سختی کی قدریں اس SiC گریڈ کے لیے مخصوص ہیں۔ غیر محفوظ SiC چکوں کو اضافی پروسیسنگ کی ضرورت ہوتی ہے۔ براہ کرم مخصوص porosity اور تاکنا سائز کی دستیابی کے بارے میں پوچھ گچھ کریں۔
