سیلیکون کاربائیڈ (SiC) سرامک اینڈ ایفیکٹر - اعلی درجہ حرارت ویفر ہینڈلنگ کے لیے اعلی سختی
St.Cera's SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر S1111 بیچ میٹریل کا استعمال کرتے ہوئے اعلیٰ پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC مواد 99.72%، مفت Si 0.05%) سے تیار کیا گیا ہے۔ یہ غیر معمولی مکینیکل خصوصیات پیش کرتا ہے: لچکدار طاقت 449 MPa (ماپا ہوا)، لچکدار ماڈیولس 457 GPa (ماپا ہوا)، اور Vickers کی سختی 25–28 GPa (عام)۔ کم کثافت (3.10–3.15 g/cm³، عام) ایک اعلی مخصوص سختی فراہم کرتی ہے، جو تیز رفتار ویفر ٹرانسفر روبوٹ کے لیے مثالی ہے۔ 120–150 W/m·K (عام) کی تھرمل چالکتا اور 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (عام) کے تھرمل ایکسپینشن گتانک کے ساتھ، یہ اختتامی اثر مؤثر طریقے سے گرمی کو ختم کرتا ہے اور اعلی درجہ حرارت سے نمٹنے کے دوران جہتی استحکام کو برقرار رکھتا ہے (1600–1600C تک)۔ سیاہ/گرے رنگ اور صفر پانی جذب کلین روم کی مطابقت کو یقینی بناتے ہیں۔
وضاحتیں(سپلائی شدہ SiC S1111 ٹیسٹ رپورٹ اور عام اقدار پر مبنی):
| جائیداد | قدر |
| مواد | SiC (99.72% SiC، 0.05% مفت Si) |
| رنگ | سیاہ/گرے |
| کثافت | 3.10–3.15 گرام/cm³ |
| پانی جذب | 0% |
| لچکدار طاقت | 449 ایم پی اے (اوسط) |
| فریکچر سختی | 3.12 MPa·m¹/² (اوسط) |
| لچکدار ماڈیولس | 457 جی پی اے |
| Vickers سختی | 25–28 GPa |
| تھرمل چالکتا (25°C) | 120-150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| زیادہ سے زیادہ استعمال کا درجہ (کوئی بوجھ نہیں) | 1600–1700 °C |
درخواستیں:
● ہائی ٹمپریچر ویفر ہینڈلنگ (پوسٹ اینیل، آر ٹی پی، ایپیٹیکسی)
● پلازما اینچ چیمبرز جن میں کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے۔
● تیز رفتار ٹرانسفر روبوٹ (ہلکا وزن، زیادہ سختی)
مینوفیکچرنگ:
SiC پاؤڈر sintering → پریسجن CNC پیسنے کی آرم پروفائل اور بڑھتے ہوئے خصوصیات → سطح کی لیپنگ → الٹراسونک صفائی۔ ویکیوم ایپلی کیشنز کے لیے 100% جہتی معائنہ اور ہیلیم لیک ٹیسٹ۔
کوالٹی کنٹرول:
● لمبائی، چوڑائی اور ہموار پن کا CMM معائنہ
● لچکدار طاقت ٹیسٹ فی بیچ (فی ٹیسٹ رپورٹ معیار)
● سطحی نقائص کے لیے خوردبین کے تحت بصری معائنہ
ایلومینا یا دھات سے زیادہ فوائد:
● 2× زیادہ لچکدار ماڈیولس (457 بمقابلہ ~380 GPa برائے ایلومینا) – کم انحراف
● 3× زیادہ تھرمل چالکتا – تیز گرمی کی کھپت
●>1600°C بمقابلہ ایلومینا 800°C ہوا میں برداشت کرتا ہے۔
● سٹیل سے کم کثافت – 40% وزن میں کمی
حسب ضرورت:
لمبائی 150–450 ملی میٹر، نوک کی شکلیں (کنارے کی گرفت، برنولی، فلیٹ)، فی OEM ڈرائنگ کے لیے بڑھتے ہوئے فلینج پیٹرن۔
*مذکورہ بالا تمام مکینیکل ڈیٹا فراہم کردہ ٹیسٹ رپورٹ (بیچ S1111) سے آتا ہے۔ تھرمل اور سختی کی قدریں اس SiC گریڈ کے لیے مخصوص ہیں۔ براہ کرم بہت سے مخصوص سرٹیفیکیشن کے لیے ہم سے رابطہ کریں۔*
