-
Al2O3 سیرامک ویفر چک کی حسب ضرورت پروسیسنگ
کولڈ آئسوسٹیٹک دبانے سے تشکیل دیا جاتا ہے اور اعلی درجہ حرارت کے نیچے سنٹر کیا جاتا ہے، پھر درست طریقے سے مشینی اور پالش کیا جاتا ہے، سیرامک کے اسپیئر پارٹس سیمی کنڈکٹر آلات کی کسی بھی سخت ضرورت کو پورا کر سکتے ہیں اس کی پہننے کے خلاف مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، کم تھرمل توسیع اور موصلیت کی خصوصیات ہیں۔ سیرامکس کئی قسم کے سیمی کنڈکٹر پروڈکشن آلات میں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم یا سنکنرن گیس کی حالت میں طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔
اعلی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر سے بنا ہوا، جس پر کولڈ آئسوسٹیٹک پریسنگ، ہائی ٹمپریچر سنٹرنگ اور پریزیشن فنشنگ کے ذریعے عمل کیا جاتا ہے، یہ طول و عرض کی رواداری ±0.001 ملی میٹر، سطح کی تکمیل Ra 0.1، درجہ حرارت کی مزاحمت 1600℃ تک پہنچ سکتا ہے۔
-
ST.CERA حسب ضرورت سیمی کنڈکٹر کا سامان سرامک پلیٹ
کولڈ آئسوسٹیٹک دبانے سے تشکیل دیا جاتا ہے اور اعلی درجہ حرارت کے نیچے سنٹر کیا جاتا ہے، پھر درست طریقے سے مشینی اور پالش کیا جاتا ہے، سیرامک کے اسپیئر پارٹس سیمی کنڈکٹر آلات کی کسی بھی سخت ضرورت کو پورا کر سکتے ہیں اس کی پہننے کے خلاف مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، کم تھرمل توسیع اور موصلیت کی خصوصیات ہیں۔ سیرامکس کئی قسم کے سیمی کنڈکٹر پروڈکشن آلات میں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم یا سنکنرن گیس کی حالت میں طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔
اعلی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر سے بنا ہوا، جس پر کولڈ آئسوسٹیٹک پریسنگ، ہائی ٹمپریچر سنٹرنگ اور پریزیشن فنشنگ کے ذریعے عمل کیا جاتا ہے، یہ طول و عرض کی رواداری ±0.001 ملی میٹر، سطح کی تکمیل Ra 0.1، درجہ حرارت کی مزاحمت 1600℃ تک پہنچ سکتا ہے۔
-
300mm ویفر پروسیسنگ کے لیے 12 انچ ایلومینا ویکیوم چک
سینٹ سیرا کا 12 انچ ویکیوم چک 300 ملی میٹر ویفر ہینڈلنگ کے لیے 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے درست طریقے سے تیار کیا گیا ہے۔ پورے 300 ملی میٹر قطر میں ویکیوم کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانے کے لیے چک میں ایک باریک نالی والی سطح (نالی کی چوڑائی 0.5–1.0 ملی میٹر، پچ 2–3 ملی میٹر) ہے۔ چپٹا پن 5 μm کے اندر برقرار رکھا جاتا ہے، ڈائسنگ، بیک سائیڈ گرائنڈنگ، اور معائنہ کے دوران وارپ فری ویفر فکسشن کو قابل بناتا ہے۔ مواد کی اعلی لچکدار طاقت (361 MPa) اور سختی (16 GPa) بار بار ویکیوم سائیکلوں کے تحت بھی طویل مدتی جہتی استحکام کی ضمانت دیتی ہے۔
-
سیمک کنڈکٹر پروب آلات کے لیے سیرامک اسپیئر پارٹس
کولڈ آئسوسٹیٹک دبانے سے تشکیل دیا جاتا ہے اور اعلی درجہ حرارت کے نیچے سنٹر کیا جاتا ہے، پھر درست طریقے سے مشینی اور پالش کیا جاتا ہے، سیرامک کے اسپیئر پارٹس سیمی کنڈکٹر آلات کی کسی بھی سخت ضرورت کو پورا کر سکتے ہیں اس کی پہننے کے خلاف مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، کم تھرمل توسیع اور موصلیت کی خصوصیات ہیں۔ سیرامکس کئی قسم کے سیمی کنڈکٹر پروڈکشن آلات میں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم یا سنکنرن گیس کی حالت میں طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔
اعلی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر سے بنا ہوا، جس پر کولڈ آئسوسٹیٹک پریسنگ، ہائی ٹمپریچر سنٹرنگ اور پریزیشن فنشنگ کے ذریعے عمل کیا جاتا ہے، یہ طول و عرض کی رواداری ±0.001 ملی میٹر، سطح کی تکمیل Ra 0.1، درجہ حرارت کی مزاحمت 1600℃ تک پہنچ سکتا ہے۔
-
سیرامک پلیٹ سیمی کنڈکٹر آلات کیریئر
کولڈ آئسوسٹیٹک دبانے سے تشکیل دیا جاتا ہے اور اعلی درجہ حرارت کے نیچے سنٹر کیا جاتا ہے، پھر درست طریقے سے مشینی اور پالش کیا جاتا ہے، سیرامک کے اسپیئر پارٹس سیمی کنڈکٹر آلات کی کسی بھی سخت ضرورت کو پورا کر سکتے ہیں اس کی پہننے کے خلاف مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، کم تھرمل توسیع اور موصلیت کی خصوصیات ہیں۔ سیرامکس کئی قسم کے سیمی کنڈکٹر پروڈکشن آلات میں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم یا سنکنرن گیس کی حالت میں طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔
اعلی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر سے بنا ہوا، جس پر کولڈ آئسوسٹیٹک پریسنگ، ہائی ٹمپریچر سنٹرنگ اور پریزیشن فنشنگ کے ذریعے عمل کیا جاتا ہے، یہ طول و عرض کی رواداری ±0.001 ملی میٹر، سطح کی تکمیل Ra 0.1، درجہ حرارت کی مزاحمت 1600℃ تک پہنچ سکتا ہے۔
-
سیمی کنڈکٹر کا سامان سرامک اسپیئر پارٹس
کولڈ آئسوسٹیٹک دبانے سے تشکیل دیا جاتا ہے اور اعلی درجہ حرارت کے نیچے سنٹر کیا جاتا ہے، پھر درست طریقے سے مشینی اور پالش کیا جاتا ہے، سیرامک کے اسپیئر پارٹس سیمی کنڈکٹر آلات کی کسی بھی سخت ضرورت کو پورا کر سکتے ہیں اس کی پہننے کے خلاف مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، کم تھرمل توسیع اور موصلیت کی خصوصیات ہیں۔ سیرامکس کئی قسم کے سیمی کنڈکٹر پروڈکشن آلات میں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم یا سنکنرن گیس کی حالت میں طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں۔
اعلی پیوریٹی ایلومینا پاؤڈر سے بنا ہوا، جس پر کولڈ آئسوسٹیٹک پریسنگ، ہائی ٹمپریچر سنٹرنگ اور پریزیشن فنشنگ کے ذریعے عمل کیا جاتا ہے، یہ طول و عرض کی رواداری ±0.001 ملی میٹر، سطح کی تکمیل Ra 0.1، درجہ حرارت کی مزاحمت 1600℃ تک پہنچ سکتا ہے۔
-
اعلی درجہ حرارت چیمبر سگ ماہی کے لئے اعلی پاکیزگی ایلومینا سیرامک مہر کی انگوٹی
St.Cera کی سیرامک سیل کی انگوٹھی انتہائی ماحول میں پولیمر O-rings کے متبادل کے طور پر ڈیزائن کی گئی ہے جہاں elastomers گر جاتے ہیں۔ 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے تیار کردہ، یہ سخت مہر کی انگوٹھی جامد سگ ماہی ایپلی کیشنز میں استعمال کی جاتی ہے — جو عام طور پر نرم دھات یا گریفائٹ گسکیٹ کے ساتھ جوڑا جاتا ہے — تاکہ 800 °C یا کیمیکل ماحول کے درجہ حرارت پر قابل اعتماد ویکیوم یا گیس کی روک تھام فراہم کی جا سکے۔ مواد صفر آؤٹ گیسنگ، ہائی کمپریسیو طاقت (اندرونی لچکدار طاقت 361 MPa)، اور کیمیائی جڑتا (HF کے علاوہ ہالوجن، تیزاب، اور الکلیس کے خلاف مزاحم) پیش کرتا ہے۔ درستگی سے لپٹی ہوئی سگ ماہی کی سطحیں (ہمواری ≤5 μm، سطح کی کھردری Ra ≤0.2 μm) میٹنگ دھات یا سیرامک اجزاء کے ساتھ رساو تنگ رابطے کو یقینی بناتی ہے۔
-
پلازما Etch اور CVD سسٹمز کے لیے ہائی پیوریٹی ایلومینا چیمبر فوکس رنگ
سینٹ سیرا کے چیمبر فوکس رِنگ ایک اہم عمل کٹ کا جزو ہے جو پلازما ایچ، سی وی ڈی، اور پی وی ڈی سیمی کنڈکٹر آلات میں استعمال ہوتا ہے۔ 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے تیار کردہ، انگوٹھی پلازما کو محدود کرنے اور آئن کونیی تقسیم کو بہتر بنانے کے لیے ویفر کے کنارے کو گھیر لیتی ہے، اس طرح ویفر کی سطح پر اینچ کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔ یہ مواد غیر معمولی پلازما مزاحمت، ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت (15×10⁶ V/m)، اور 1600°C تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے، جارحانہ فلورین- یا کلورین پر مبنی پلازما ماحول میں طویل مدتی اعتبار کو یقینی بناتا ہے۔ درستگی-گراؤنڈ ID/OD اور چپٹا پن (≤10 μm) درست ویفر ایج پوزیشننگ کو قابل بناتا ہے، کنارے کے نقائص کو کم کرتا ہے اور ذرہ پیدا کرتا ہے۔
-
CVD/PVD پروسیس چیمبرز کے لیے ہائی پیوریٹی ایلومینا سیرامک رنگ
سینٹ سیرا کی سیرامک رنگ خاص طور پر CVD (کیمیائی بخارات جمع کرنے) اور PVD (جسمانی بخارات جمع کرنے) کے عمل کے چیمبروں میں استعمال کے لیے ڈیزائن کی گئی ہے۔ 99.8% ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃) سے تیار کردہ، یہ انگوٹھی پلازما کو محدود کرنے اور چیمبر کی دیواروں کو کٹاؤ سے بچانے کے لیے چیمبر لائنر، فوکس رِنگ، یا پروسیس کٹ کے جزو کے طور پر کام کرتی ہے۔ یہ مواد بہترین پلازما مزاحمت، ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت (15×10⁶ V/m)، اور 1600°C تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے، جو فلورین پر مبنی پلازما کے جارحانہ ماحول میں طویل سروس کی زندگی کو یقینی بناتا ہے۔ درست جہتی رواداری (±0.05 ملی میٹر ID/OD پر) اور چپٹا پن (≤10 μm) مسلسل ویفر ایج پوزیشننگ کو قابل بناتا ہے، جمع ہونے کی یکسانیت کو بہتر بناتا ہے اور ذرات کی پیداوار کو کم کرتا ہے۔
-
غیر محفوظ سرامک ویکیوم چک وارپڈ ویفر ہینڈلنگ کے لیے
سینٹ سیرا کا غیر محفوظ سیرامک چک 30-45% کی یکساں کھلی پورسٹی اور 10 سے 100 μm تک کے تاکوں کے سائز کے ساتھ اعلی پیوریٹی ایلومینا سے تیار کیا گیا ہے۔ روایتی نالی والے چکوں کے برعکس، غیر محفوظ سطح پورے ویفر کے پچھلے حصے میں تقسیم شدہ ویکیوم فراہم کرتی ہے، مؤثر طریقے سے مسحور، پتلی، یا سنگیولیٹڈ ویفرز کو بغیر کسی کنارے کی لفٹ آف یا ٹوٹ پھوٹ کے۔ نرم ویکیوم (ریسٹریکٹر کے ذریعے ایڈجسٹ) بیک سائیڈ مارکنگ کو بھی روکتا ہے۔
-
پتلی ویفر ہینڈلنگ کے لئے ایلومینا پر مبنی غیر محفوظ سیرامک ویکیوم چک
سینٹ سیرا کا ایلومینا پر مبنی غیر محفوظ چک 99.6% ہائی پیوریٹی Al₂O₃ سے بنا ہوا ہے جس میں 30–45% کی کھلی پورسٹی اور یکساں تاکنا سائز 10 سے 50 μm تک ہے۔ نالیوں والے چکوں کے برعکس، غیر محفوظ سطح پورے ویفر کے پچھلے حصے میں تقسیم شدہ خلا فراہم کرتی ہے، کنارے کے نشانات کو ختم کرتی ہے اور انتہائی پتلی (≤100 μm) یا وارپڈ ویفرز کے نرم انعقاد کو فعال کرتی ہے۔ مواد لچکدار طاقت ≥250 MPa اور ہوا میں 400°C تک تھرمل استحکام پیش کرتا ہے۔
-
CVD/PVD شاور ہیڈ کے لیے ایلومینا گیس ڈسٹری بیوشن پلیٹ
سینٹ سیرا کی گیس ڈسٹری بیوشن پلیٹ (شاور ہیڈ) اعلیٰ طہارت 99.8% ایلومینا سیرامک سے درست مشینی ہے۔ اس میں مائیکرو ہولز (قطر 0.3–1.5 ملی میٹر) کی ایک صف ہے جو CVD، PVD، یا ALD کے عمل کے دوران ویفر کی سطح پر یکساں گیس کے بہاؤ کو یقینی بناتی ہے۔ پلیٹ کی ہائی ڈائی الیکٹرک طاقت (>15×10⁶ V/m) اور پلازما کی مزاحمت اسے سیمی کنڈکٹر پتلی فلم کے جمع کرنے کے لیے ضروری بناتی ہے۔
